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1.产品简介
ZR-4000型气流流形测试仪利用超声波雾化器产生10微米左右的高可见度及无污染的水雾。水雾高可见度，无污染。用于洁净厂房、局部洁净环境的气流流形摄像及录像。根据ISO14644-3及GMP对洁净厂房验收需要对气流方向进行评价，可适用于半导体洁净车间。
2.执行标准
ISO 14644-3:2019《洁净室及相关受控环境-第三部分：测试方法》
3.技术特点
发雾纯净 时间长
持续30分钟以上发雾；
超纯净喷雾，无污染；
操作安全便捷
透明喷雾软管，方便观察及弯折；
喷雾管可以延长至1米；
储水水位显示；
缺水保护功能；
专用于1~10,000级净化车间测试。
4.技术指标
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主要参数 |
参数范围 |
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雾化颗粒 |
（1～10）μm |
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生成雾量 |
≥5500mL/h |
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烟雾输出速率 |
约0.95m³/min |
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成雾高度 |
（100～150）mm |
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工作温度 |
（0~50）℃ |
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工作电源 |
AC（220±22）V，（50±1）Hz |
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仪器噪声 |
＜65dB（A） |
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主机尺寸 |
（长240×宽410×高300）mm |
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整机重量 |
约8.5kg |
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功 耗 |
≤ 210W |
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