一、产品介绍
重视可视性,大画面,触摸屏显示器,可在附带软件上显示测试数据
双通道: 0.1um0.3um
额定流量:2.83umin
通过实现超小型化设计,使粒子计数器嵌入装置设备成为可
0.1 um测量
4.3英寸彩色液晶
标配RS-485,Ethernet,USB
小型化!重量大幅度轻量化
以往的尺寸很难嵌入组装在半导体制造等装置中,
本产品通过压倒性的小型化,使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。
二、产品参数
测试方法 |
光散乱 |
粒径区分 |
2粒径(0.1,0.3um) |
额定流量 |
0.1CFM(2.83L/分)精度士(符合JIS B9921 和 1$021501-4) |
测量时间 |
6秒~99分59秒(1次测量时间) |
间隔时间 |
6秒~99分59秒(测量周期) |
采样次数 |
1~999回或 连续测试 |
地点区分 |
99个地点 |
测量格式 |
重复,单次,连续,计算,1S0,GB*(共6种模式) |
测量数据显示时间 |
1~10秒 |
测量数据显示 |
计数累计值三,超过设定设定值时蜂鸟器报警 |
大可测浓度 |
10,000,000个m |
计数效率 |
50土20%(相对于 小可测粒径附近的标准粒子) |
伪计数 |
1/35min 以下 |
粒径分解能 |
15%以下(相对0.3um的PSL粒子) |
采样源 |
自带泵 |
显示器 |
4.3英寸彩色液品,触摸屏显示器 |
记录媒体 |
本体:USB(Host可对于打印机,USB内存使用,、Device可对于链接PC使用)Ethernet.RS485(9600,19200,38400 baud) |
显示语言 |
英语,日语 |
电源 |
AC 100~240 V |
一、产品介绍
重视可视性,大画面,触摸屏显示器,可在附带软件上显示测试数据
双通道: 0.1um0.3um
额定流量:2.83umin
通过实现超小型化设计,使粒子计数器嵌入装置设备成为可
0.1 um测量
4.3英寸彩色液晶
标配RS-485,Ethernet,USB
小型化!重量大幅度轻量化
以往的尺寸很难嵌入组装在半导体制造等装置中,
本产品通过压倒性的小型化,使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。
二、产品参数
测试方法 |
光散乱 |
粒径区分 |
2粒径(0.1,0.3um) |
额定流量 |
0.1CFM(2.83L/分)精度士(符合JIS B9921 和 1$021501-4) |
测量时间 |
6秒~99分59秒(1次测量时间) |
间隔时间 |
6秒~99分59秒(测量周期) |
采样次数 |
1~999回或 连续测试 |
地点区分 |
99个地点 |
测量格式 |
重复,单次,连续,计算,1S0,GB*(共6种模式) |
测量数据显示时间 |
1~10秒 |
测量数据显示 |
计数累计值三,超过设定设定值时蜂鸟器报警 |
大可测浓度 |
10,000,000个m |
计数效率 |
50土20%(相对于 小可测粒径附近的标准粒子) |
伪计数 |
1/35min 以下 |
粒径分解能 |
15%以下(相对0.3um的PSL粒子) |
采样源 |
自带泵 |
显示器 |
4.3英寸彩色液品,触摸屏显示器 |
记录媒体 |
本体:USB(Host可对于打印机,USB内存使用,、Device可对于链接PC使用)Ethernet.RS485(9600,19200,38400 baud) |
显示语言 |
英语,日语 |
电源 |
AC 100~240 V |